2023年1月28日，2022年度山西省科技重大专项计划“揭榜挂帅”项目成功揭榜公告发布，中北大学半导体与物理学院成功揭榜《微波射频GaN外延缺陷检测技术研究与设备开发》项目，技术挂帅人为我院梁庭教授，青年技术挂帅人为雷程高级实验师，本项目需求方为中电科风华信息装备股份有限公司和山西烁科晶体有限公司，联合揭榜单位为中国电子科技集团公司第五十五所。

该项目面向国家半导体领域的“卡脖子”工程，立足推动我省半导体产业集群发展的先进技术方向，开展半导体外延技术中缺陷检测研究和装备研发，针对微波射频器件制造过程中GaN外延过程中缺陷难以检测的技术难题和国外的高端设备禁运风险，通过开展精密机械和光学系统研制、外延缺陷智能识别及分类的算法系统、GaN外延缺陷定标晶圆的设计与制备、外延缺陷检测设备系统集成及应用研究等课题，最终实现GaN外延缺陷检测设备的研制和产业化推广。

学校高度重视各类科研项目的研究工作，统筹全局，持续加强科学研究投入和激励政策引导，学院积极落实各项政策部署，对接企业技术需求，深化校企联合科技攻关合作，推动学校科研工作向更高水平发展。本项目的实施将深化学校与企业的产教融合层次，助力校企联合创新基地建设，探索构建校企研究生联合培养创新机制，进一步提升我校半导体学科建设水平。